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목차
Abstract
1. 서론
2. 마이크로 밸브의 구조 및 동작원리
3. 실험
4. 결과 및 토론
5. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (9)
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[학술지(정기간행물)] - David C. Roberts / 2003 / A Piezoelectric Microvalve for Compact High-Frequency Journal of Microelectro- mechanical System 12. : 81 ~ 92
[학술지(정기간행물)] - James G. Boyd / 2000 / and Testing of a Bistable Electro- magnetically Actuated Microvalve Journal of Micro- electromechanical System 9. : 181 ~ 189
[학술지(정기간행물)] - Donald Wroblewski / 1998 / Development of a MEMS Microvale Array for Fluid Flow Control Journal of Microelectro- mechanical System 7. : 395 ~ 403
[학술지(정기간행물)] - Kazuo Hosokawa / / Low-Cost Tech- nology for High-Density Microvalve Arrays Using Poly- dimethylsiloxane : 531 ~ 534
[학술지(정기간행물)] - Makoto Ishida / 2002 / A Pneumatically Actuated Full In-Channel Microvalve With MOSFET-Like Function in Fluid Channel Networks 11. : 421 ~ 426
[학술지(정기간행물)] - James G. Boyd / 2000 / and Testing of a Bistable Electro- magnetically Actuated Microvalve Journal of Micro- electromechanical System 9. : 181 ~ 189
[학술지(정기간행물)] - Donald Wroblewski / 1998 / Development of a MEMS Microvale Array for Fluid Flow Control Journal of Microelectro- mechanical System 7. : 395 ~ 403
[학술지(정기간행물)] - Kazuo Hosokawa / / Low-Cost Tech- nology for High-Density Microvalve Arrays Using Poly- dimethylsiloxane : 531 ~ 534
[학술지(정기간행물)] - Makoto Ishida / 2002 / A Pneumatically Actuated Full In-Channel Microvalve With MOSFET-Like Function in Fluid Channel Networks 11. : 421 ~ 426
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