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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
173 - 176 (4page)

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This study provides an experimental investigation into the dynamic characteristics of a wafer-dicing air spindle. A primary objective is to find out the effects of the spindle tip loads on the dynamic behavior of the spindle shaft. A test rig has been developed, which consists of an air spindle, a load-imposing device, sensors including load cells, accelerometers and gap sensors, a data acquisition system based on Labview. Results show that both the spindle loads and the shaft speed significantly affect the lateral displacement of the spindle shaft.

목차

Abstract
1. 서론
2. 에어스핀들 특성분석 실험
3. 스핀들 특성 분석
4. 결론
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