The Fabrication of Megasonic Agitated Module (MAM) for the Improved Characteristics of Wet Etching

Tae Gyu Pa ,  k ,  Sang Sik Yang 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2008 .06

Far Field type 메가소닉 해석

이양래 ,  김현세 ,  임의수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

A Study on Optimization of Megasonic Cleaning Process for Manufacturing LCD

Young Sook Kim ,  Hie-Sik Kim ,  Gi Sang Choi

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

반도체 세정 공정용 Single-beam 메가소닉 시스템 설계

김현세 ,  이양래 ,  임의수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

유한요소해석을 이용한 나노패턴용 메가소닉의 설계 및 성능평가

김현세 ,  이양래 ,  임의수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

압전소자의 형상에 따른 메가소닉 특성 분석

이양래 ,  김현세 ,  윤소남 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

유수식 메가소닉 세정법을 이용한 농약 세척

박근환 ,  김원정 ,  김호영

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

듀얼 주파수 Compact-type 메가소닉 세정장비 개발

김현세 ,  이양래 ,  임의수

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .04

나노패턴용 3 MHz 급 메가소닉 세정시스템 개발

김현세 ,  이양래 ,  임의수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

유한요소해석을 이용한 1 MHz Near-field 메가소닉 진동자 설계

김현세 ,  이양래 ,  임의수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

반도체 웨이퍼 세정공정용 1 MHz 급 매엽식 메가소닉 개발

김현세 ,  이양래 ,  임의수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

메가소닉 세정시 발생되는 패턴손상 최소화에 대한 연구

유동현 ,  안영기 ,  안덕민 외 6명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .11

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

기판의 왕복 운동을 이용한 인라인 식각세정장치 내 ITO 식각특성

홍성재 ,  권상직 ,  조의식

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Nozzle-type 메가소닉 세정용 웨이브가이드의 유한요소해석 및 제작

김현세 ,  임의수 ,  이양래 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

반송제어모드를 이용한 인라인 식각/세정장치의 ITO 전극형성기술

홍성재 ,  임승혁 ,  한형석 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

2008 .04

PIV를 이용한 Dynamic Axial 교반시스템의 유동 특성에 관한 연구

배기화 ,  김정환 ,  박재현 외 2명

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2008 .06

Spot Spray 메가소닉의 Horn 설계 및 음압분포 분석

임의수 ,  이양래 ,  김현세

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .10