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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.5
- 수록면
- 296 - 297 (2page)
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Recently, nanoimprint lithography method has been used to fabricate polymer nanostructures on various substrates such as Si wafer, metal-layer, organic or inorganic materials. Accordingly, the extensive efforts have been made to obtain small polymer nanostructures by using special mold, which having much small size of pattern. Meanwhile, the polymeric residual layer that remains unde ... 전체 초록 보기
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