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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
2008.5
수록면
235 - 238 (4page)

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This work deals with ultra-thin metal-based nano-mechanical transducers that have potentials for extraordinary sensitivity. This nano membrane transducer (NMT) consists of a flat thin film of gold with 30-60 ㎚ thickness freely suspended over large square openings with the side dimensions of 50-500 ㎛. This work involves the fabrication process and the testing method to obtain pressure sensitivity.
#NMT(Nano Membrane Transducer, 나노 박막 트랜스듀서) #Ultra-thin Gold Film(미세금 박막) #Pressure sensitivity(압력 민감도)

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENT
3. MODELING AND ANALYSIS
4. RESULT
5. DISCUSSION
6. SUMMARY
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES

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