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공초점 방식을 이용하여 두 기판사이의 얇은 공기갭의 두께를 측정하는 방법을 제안하였다. 공기갭이 약 200 ㎚ 이내 일때는 두 기판면이 초점의 레일리 영역 안에 있으므로 완전한 간섭신호를 측정할 수 있었다. 또 초점영역 근처에서의 간섭무늬만 측정되므로 다층 박막중에 존재하는 공기갭이라도 측정할 수 있는 장점이 있다. 간섭무늬 변화가 작은 영역을 제외하면 1 ㎚ 이내의 안정도를 가진다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 측정원리
Ⅲ. 실험 및 결과
Ⅳ. 결론
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