RF-마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이층형 PZT의 특성평가

임실묵

한국산학기술학회 논문지

2020 .08

RF Magnetron Sputtering 으로 형성시킨 PZT 박막 특성 연구

하용해 ,  백수현 ,  백상훈 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )

마재평 ,  백수현 ,  황유상

전자공학회논문지-A

1995 .12

PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성

李成甲 ,  金經兌 ,  裵善基 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .02

2단계 스퍼터링에 의한 PZT박막의 유전특성

박삼규 ,  마재평

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

스퍼터링으로 제조한 PZT박막에 대한 V의 첨가 효과

길덕신 ,  주재현 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Sputtering 법으로 증착된 PZT박막의 전극에 따른 전기적 특성의 영향에 관한 연구

조능호 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Co-Sputtering 으로 제조된 PZT 박막의 전도 및 피로 특성

주재현 ,  길덕신 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

이차이온질량분석기를 이용한 PZT 박막의 후열처리 온도에 따른 특성에 관한 연구

심등 ,  이태용 ,  이경천 외 4명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

솔젤법에 의한 제작된 PZT 박막의 특성

申泰賢 ,  柳道鉉

전기학회논문지 P

2001 .12

PZT Sputtering Target 제작

이기성 ,  조준석 ,  이문희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PZT 강유전 박막의 전기적 특성

김현권 ,  백동수 ,  최형욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

PZT박막의 시간에 따른 표면특성열화에 관한 연구

송한욱 ,  홍종인 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PZT 박막 캐퍼시터의 특성에 기여하는 PZT-전극계면층의 영향

김태호 ,  구준모 ,  민형섭 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

SrRuO3 전극 박막 위에 증착된 PZT 박막의 구조 및 강유전 특성

이명복

전기전자재료학회논문지

2016 .01

저온동시소성세라믹 기판 위에 제작된 PZT 박막의 증착조건이 박막의 구조적 특성에 미치는 영향

이경천 ,  송준태 ,  황현석 외 2명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

유리 기판 위에서의 PZT 박막의 특성에 관한 연구

주필연 ,  정규원 ,  박영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교

고종수 ,  곽병만

대한기계학회 논문집 A권

2002 .06

후열처리 조건이 탄탈륨이 첨가된 PZT 박막의 특성에 미치는 영향

길덕신 ,  주재현 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

하부전극 변화에 따른 PZT 박막 특성에 관한 연구

박영 ,  정규원 ,  임승혁 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07