Air-Bag Head 가압식 300㎜ 웨이퍼 폴리싱 테이블의 가압 분포 해석

노승국

한국생산제조학회지

2013 .04

Air-Bag 가압식 300 ㎜ 웨이퍼 폴리싱 테이블의 가압 분포 해석

노승국 ,  박종권 ,  이상열 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

12인치 웨이퍼 폴리싱 시스템의 성능 평가에 관한 연구

이정택 ,  원종구 ,  이은상 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

균일 가압을 적용한 Wafer Polishing 가공 성능에 관한 연구

원종구 ,  이정택 ,  이은상

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

12인치 Wafer Final Polishing 장비 개발

박종권 ,  우에다 ,  이상열 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

반도체 실리콘 웨이퍼 가공용 폴리싱머신의 구조해석에 관한연구

정선환 ,  최성대 ,  권현규 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2006 .06

웨이퍼 Final polishing의 온도 변화에 따른 가공 특성에 대한 연구

원종구 ,  이정택 ,  이은상 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

12인치 Wafer Final Polishing System 구조물 설계에 관한 연구

박종권 ,  우에다 ,  이상열 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 가공 특성에 관한 연구

최웅걸 ,  김성현 ,  최승건 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2012 .06

12" Wafer Final Polishing System 구조 특성 해석에 관한 연구

장진용 ,  이정훈 ,  이은상

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

신경 회로망을 이용한 Wafer final polishing의 가공 결과 예측

황성철 ,  차지완 ,  이은상

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

안정성 향상을 위한 Wafer Polishing Machine의 지지구조 개선

노승훈 ,  김영조 ,  김동욱 외 2명

한국기계가공학회지

2012 .04

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

300㎜ 실리콘 웨이퍼 연마 장치의 개발 : 연마 속도에 관한 기본해석

박종권 ,  이상열 ,  요꼬이요시유끼 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

Ch Computing 환경을 이용한 웨이퍼 폴리싱 가공의 실시간 모니터링과 가공 조건에 관한 연구

이정택 ,  원종구 ,  이은상

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .11

표면 현상과 pad에 변화에 따른 wafer final polishing의 최적 조건에 관한 연구

원종구 ,  이은상 ,  이정택

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .11

최적 가공 조건 선정을 위한 웨이퍼 폴리싱의 300㎜ 가공특성 연구

원종구 ,  이정택 ,  이은상

한국생산제조학회지

2008 .04

최적조건 선정을 위한 Pad 특성과 Wafer Final Polishing의 가공표면에 관한 연구

원종구 ,  이은상 ,  이상균

한국기계가공학회지

2012 .02

Pad 마모와 wafer final polishing의 가공표면에 관한 연구

이은상 ,  원종구 ,  이정택

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

12인치 웨이퍼 폴리싱 장치의 작동조건에 따른 진동 특성 연구

노승국 ,  이은상 ,  원종구 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06