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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.11
수록면
753 - 754 (2page)

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#Long-term & # real-time laser power stabilization #laser-induced breakdown spectroscopy(LIBS) #auto-focusing(AF)

목차

1. 서론
2. 레이저 미세가공 Platform 구성
3. 실시간 레이저 출력 안정화 모듈
4. LIBS 모듈
5. 자동초점정렬 모듈
6. 결론
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