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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.11
수록면
613 - 614 (2page)

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#Variable Capacitor #Tuning Capacitor #Micro Switch #Wide Tuning Range #Varactor

목차

1. 서론

2. 광대역 튜닝을 위한 마이크로 구동 스위치 기반 MEMS 가변 용량기의 동작 원리

3. 제작공정

4. 측정 결과 및 검토

5. 결론

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