다파장 광원을 이용한 위상 물체의 2 차원 굴절률 분포와 두께 측정을 위한 분리 알고리즘

이광천; 류성윤; 이윤우; 곽윤근; 김수현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이광천 류성윤 이윤우 곽윤근 김수현

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.5

발행연도: 2009.5

수록면: 72 - 78 (7page)

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2009

다파장 광원을 이용한 위상 물체의 2 차원 굴절률 분포와 두께 측정을 위한 분리 알고리즘

이광천 , 류성윤 , 이윤우 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.05 학술저널

2008

위상 물체의 굴절율 분포와 두께 측정에 대한 분리 알고리즘

이광천 , 류성윤 , 권원식 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

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We propose the separation algorithm to simultaneously measure two-dimensional refractive index distribution and thickness profile of transparent samples using three wavelengths. The optical system was based on the Mach-zehnder interferometer with LD (Laser Diode)-based multiwavelength sources. A LCR (Liquid Crystal Retarder) was used to obtain interference images at four phase states and then the optical phase of the object is calculated by four-bucket algorithm. Experimental results with a glass rod are provided at the different wavelengths of 635nm, 660nm and 675nm. The refractive indices of the sample are distributed with accuracy of less than 0.0005 and the thickness profile of sample was cylindrical type. This result demonstrates that it is possible to separate refractive index distribution and thickness profile of samples in two dimensions using the proposed algorithm.

#Refractive Index Distribution(굴절율 분포) #Thickness(두께) #Phase Object(위상 물체) #Separation Algorithm(분리 알고리즘) #Phase Information(위상정보)

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