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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제42권 제1호
발행연도
2009.2
수록면
1 - 7 (7page)

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Resistive heating sources are widely used to prepare thin films by vapor deposition because they are cheap, and easy to install and handle in vacuum system. Graphite is one of materials used to make the resistive heating source, but until now only limited applications have been possible as it reacts easily with evaporating materials at high temperature. In this study, evaporation characteristics of aluminum have been investigated by using graphite boat thermally treated with BN powder. The employed graphite boat has been prepared by spray-coating BN power onto the cavity surface of the boat and thermal treatment with aluminum in vacuum at the temperature of more than 1400℃. The voltage-current characteristics as well as resistivity changes of the graphite boat have been investigated during aluminum evaporation according to the applied voltage and time. The evaporation aspect has been picturized during flash evaporation for 40 seconds based on the characterization results. The evaporation rate of the graphite boat has been compared with that of BN boat. The graphite boat showed some different characteristics compared with BN boat, in that the evaporation occurred at the last stage of flash evaporation. The film appearance according to the applied voltage has been compared, and also the reflectance of the resulting film has been investigated according to the film thickness. It has been found that the graphite boat thermally treated with BN powder can be used for aluminum evaporation without problem.
#Resistive heating source #Evaporation boat #Graphite boat #Aluminum film #Evaporation characteristics #Physical vapor deposition

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
1. [단행본] - / 1989 / Vacuum Evaporation Sources / R. D. Mattis Company google schola 2. [단행본] - / 1989 / Vacuum Evaporation Sources / Jori Resources Corp. google schola 3. [단행본] - / 1989 / Evaporation Sources / Vac's Metal Corp. google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 정재인 / 1991 / / 한국표면공학회지 24 : 1 ~ google schola 5. [단행본] - / 1990 / Graphite Applications / Toyo Tanso google schola

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