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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
2,375 - 2,380 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

나노 임프린트 장비 최적 환경을 위한 제어 장비 및 시스템에 관한 연구
박경서 ,  김우송 ,  임홍재 외 5명 대한기계학회 춘추학술대회 2008.11 학술대회자료

2007

나노 임프린트 장비 환경제어를 위한 초정밀 온도 제어에 관한 연구
박경서 ,  송영중 ,  임홍재 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Controlling of thermal environment and flow in nanoimprint process chamber is important to ensure high precision levels of products. The purpose of this paper is to build optimal nanoimprint process environment. Because of this, Optimum PI control parameter for precise temperature control has been examined. Also porous medium of ventilation system is simulated for uniform flow in the equipment chamber. The porous medium consists of mesh structure, and is installed to place which flow the influx of the air flows. PID control parameter is based on the data obtained by experiment. And then heating and cooling method which simultaneously operated was used for decreasing an error. In conclude temperature in the equipment chamber was able to control precisely in the range of ±0.1℃ by the PID control parameter and Deadband.
#Thermoelectric module(열전소자) #Thermocouple(열전대) #PID control(PID제어)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장비 및 방법
3. CFD 해석
4. 결과
5. 결론
후기
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