정전기력 잉크젯 프린팅을 이용한 마이크로 패터닝에 관한 연구

김준우; 최경현; 김동수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김준우 최경현 김동수

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회

발행연도: 2008.11

수록면: 1,103 - 1,106 (4page)

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For the current display process, the innovative micro pattern fabrication process using semiconductor process should be developed, which requires the expensive equipment, the limited process environment and the expensive optic-sensitive material. The effort of process innovation during past several years ends up the limit of cost reduction. The existing ink jet technologies such as a thermal bubble ink jet printing and a piezo ink jet printing are required to shorten the nozzle diameter in order to apply to the micro pattern fabrication. In this paper, as one way to cope these problems the micro pattern equipment based on the electrostatic ink jet has been developed and carried out some experiments.

#Electrostatic inkjet(정전기력 잉크젯) #Micro-patterning(마이크로패터닝)

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