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본 논문에서는 툴 영향 함수(Tool Influence Function)를 이용한 피치(pitch)툴의 정량적 물질 제거 제어 기법에 대하여 기술하였다. 피치 툴은 뛰어난 표면 거칠기를 생성시키는 반면 툴의 물질 변형이 상대적으로 크고 물질제거가 어렵기 때문에 일반적으로 숙련된 가공 기술자에 의한 정성적 연마 기법으로 간주되었다. 하지만 이러한 피치툴을 이용한 수치모사 및 실험을 수행한 결과, 정량적 피치 툴 연마 기법이 가능하다는 것을 알 수 있었다. 실험과 수치모사에 의한 물질 제거 형상은 약 79%의 정확도로 일치하였다. 또한 직경 280 ㎜의 평면가공에 대한 수치모사 단계에서 5번의 모의 가공 후 p-v(peak to valley) 1 ㎛의 최초 형상오차를 168 ㎚까지 낮추는 결과를 얻을 수 있었다.
목차
Ⅰ. 연구 배경 및 목적
Ⅱ. 광학연마기 반자동화
Ⅲ. 연마 툴의 해석적 운동 분석
Ⅳ. 연마 툴의 영향 함수 수치모사 및 실험
Ⅴ. 동적 툴 영향 함수를 이용한 광학거울 수치모사
Ⅵ. 결론
참고문헌
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김영수 / 2003 / SYSTEM TRADE-OFF STUDY AND OPTO-THERMO-MECHANICAL ANALYSIS OF A SUNSHIELD ON THE MSC OF THE KOMPSAT-2 / Journal of Astronomy and Space Sciences 20(4):393~402
Pierre, Y. Bely / The Design and Construction of Large Optical Telescopes / Springer :157~160
이윤우 / 2005 / 우주산업용 측정 및 시험기술 개발 :53~61
양호순 / 2008 / 직경 1 m 비축포물면의 가공 및 평가 / 한국광학회지 19(4):287~293
Optical Surface Technology,LLC
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UCI(KEPA) : G300-jX1108562.v19n6p422