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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.12
- 수록면
- 8 - 14 (7page)
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본 논문에서는 8X8 CNT 센서 어레이를 CMOS 공정 후 처리를 통하여 센서회로가 제작된 CMOS 칩에 집적시켜 측정장비 없이도 자체적으로 감지결과를 출력할 수 있는 센서 칩의 기본적인 플랫폼을 설계 제작한 결과를 보고한다. 센서 소자로는 알루미늄 패드 사이에 연결된 CNT network을 사용하였으며 생화학적 반응에 의하여 전기전도도가 변화하는 것을 감지한다. 표준 CMOS 공정의 감지회로는 CNT network의 저항값 변동에 의해 ring oscillator의 주파수가 변동하는 것을 감지하는 방식을 사용한다. 제작된 CMOS 센서 칩을 활용하여 이를 대표적인 생화학물질인 glutamate을 검출하는데 실험적으로 적용하여 농도에 따른 출력결과 값을 얻는데 성공한다. 본 연구를 통하여 본 센서 칩 플랫폼을 이용한 상용화의 가능성을 확인하며, 추가적으로 개발이 필요한 기술에 대해 파악한다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. CNT 센서 소자
Ⅲ. CMOS 센서 회로
Ⅳ. Glutamate 검출 실험
Ⅴ. 결론
참고문헌
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참고문헌 (4)
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1. [학술지(정기간행물)] - Jing kong / 2000 / Nanotube Molecular Wires as Chemical Sensors / Science 287 (5453) : 622 ~ 625
2. [학술지(정기간행물)] - Philip G. Collins / 2000 / Extreme Oxygen Sensitivity of Electronic Properties of Carbon Nanotubes / Science 287 (5459) : 1801 ~ 1804
4. [학술지(정기간행물)] - E. S. Snow / 2003 / Random networks of carbon nanotubes as an electronic material / Applied Physics Letters 82 : 2145 ~ 2147
5. [학술지(정기간행물)] - M. Lee / 2006 / Linker-free directed assembly of high-performance integrated devices based on nanotubes and nanowires / Nat. Nano 1 : 66 ~ 71
2. [학술지(정기간행물)] - Philip G. Collins / 2000 / Extreme Oxygen Sensitivity of Electronic Properties of Carbon Nanotubes / Science 287 (5459) : 1801 ~ 1804
4. [학술지(정기간행물)] - E. S. Snow / 2003 / Random networks of carbon nanotubes as an electronic material / Applied Physics Letters 82 : 2145 ~ 2147
5. [학술지(정기간행물)] - M. Lee / 2006 / Linker-free directed assembly of high-performance integrated devices based on nanotubes and nanowires / Nat. Nano 1 : 66 ~ 71
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