Study of the Amorphous Silicon Etching Mechanism Using Pin Type Dielectric Barrier Discharge

G. Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Atmospheric pressure plasma deposition of $SiO_X$ thin films by direct-Type pin-to-plate dielectric barrier discharge for flexible displays

Gil ,  Elly ,  Lee 외 5명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Large Area Surface Treatment by Atmospheric Pressure Plasma

Geun Ho Lee

한국표면공학회 Workshop

2004 .11

Pin To Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 Remote 대기압 플라즈마를 이용한 비정질 Si 식각

박재범 ,  경세진 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Atmospheric Pressure Plasma Research Activity in Korea

Han S. Uhm

한국표면공학회지

2001 .10

Plasma Etching of SiO₂ Using Remote-type Pin-To Plate Dielectric Barrier Discharge

Jae Beom Pa ,  k ,  Se Jin Kyung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Atmospheric Pressure Plasma Ashing of Photoresist Using Pin to Plate Dielectric Barrier Discharge

Pa ,  k ,  Jae-Beom 외 4명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

A study on the polymer surface treatment by atmospheric-pressure flame plasma

K.S Shin ,  Y.M Chung ,  Y.M Kim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

Atmospheric Pressure Micro Plasma Sources

Ian B ,  own

한국표면공학회지

2001 .10

상압 플라즈마를 이용한 무기박막의 화학기상 증착법에 대한 연구동향

김경남 ,  이승민 ,  염근영

한국표면공학회지

2015 .10

대기압 유전체배리어 방전으로 표면처리된 TiO₂ 분말의 광분해 특성

강정아 ,  김윤기

한국재료학회지

2016 .01

Effect of Atmospheric Pressure Plasma on Surface Characteristics of Silicon Rubber

서민강 ,  박수진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

Surface Treatment of Carbon Nanotubes using Atmospheric Pressure Plasma Jet

Byeong-Joo Lee ,  Goo-Hwan Jeong

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

a-C:H Films Deposited in the Plasma of Surface Spark Discharge at Atmospheric pressure : Part Ⅰ: Experimental Investigation

Hui-Gon Chun ,  K.V. Oskomov ,  N.S. Sochugov 외 2명

한국표면공학회지

2003 .10

Surface Cleaning and Etching Technology Employing Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma

Masa ,  u Ho ,  i

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Dielectric Barrier Discharge type 대기압 플라즈마 발생장치를 이용한 SiO₂ 식각에 관한 연구

오종식 ,  박재범 ,  길엘리 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Etching Behavior of Glass by Atmospheric Pressure Plasma with HF gas

Jong-Joo Rha ,  Hyun-Eui Lim ,  Wan-Doo Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .04

The change of the surface characteristic of polypropylene film treated by one atmospheric pressure plasma

권오준 ,  탕쉰 ,  루나 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

펄스변조의 듀티비 변경에 따른 DBD 대기압 플라즈마 특성 연구

박종인 ,  황상혁 ,  조태훈 외 6명

한국재료학회지

2015 .01

Characterization of Atmospheric-Pressure Discharge and its Interaction with Soft Materials as a Basis for Plasma Medicine

Yuichi Setsuha ,  a

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11