실리콘이 함유된 비정질 탄소박막의 잔류응력 거동 전산모사

이승협 ,  이승철 ,  정용재 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

Ta-Si-N박막의 조성에 따른 결정구조 및 구리 확산 방지 특성 연구

정병효 ,  이원종

한국재료학회지

2011 .01

Molecular Dynamics in Polymer Thin Films

신관우

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

a-Si 박막형 태양전지의 잔류응력 해석에 관한 연구

허장욱 ,  최성대

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2012 .11

Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

PREFERRED ORIENTATION AND MICROSTRUCTURE OF MOD DERIVED SrBi_2xTa₂O₉ THIN FILMS WITH Bi CONTENT x

Dae Joong Yeon ,  Joo Dong Pa ,  k 외 1명

한국표면공학회지

1996 .12

a-Si 박막형 태양전지의 잔류응력 해석에 관한 연구

허장욱 ,  김동욱 ,  최성대

한국기계가공학회지

2013 .04

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구

서유석 ,  박대규 ,  정철모 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01

Cu배선을 위한 Ta-Si-N Barrier에 관한 연구

신영훈 ,  김종철 ,  이종무

한국재료학회지

1997 .01

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Analysis of Chemically and Thermally Induced Residual Stresses in Polymeric Thin Film

Lee ,  Sang Soon

반도체디스플레이기술학회지

2015 .01

Characteristics of Amorphous Ta-Si-N Thin Film for Cu Metallization

김동준 ,  정순필 ,  김용태 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

레이저용접부의 파괴에 미치는 잔류응력의 영향

조성규 ,  양영수 ,  노영진

한국레이저가공학회지

2008 .01

무잔류 응력상태 결정을 통한 표면 잔류응력장 평가에의 레이저 간섭계 적용

김동원 ,  이낙규 ,  나경환 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

Numerical Computation for Molecular Dynamics of Heat Transfer in a Thin Film

Toshio Tomimu ,  a ,  Hi 외 2명

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1988 .11

비휘발성 메모리를 위한 Pt/SBT/${Ta_2}{O_5}/Si$ 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박건상 ,  최훈상 ,  최인훈

한국재료학회지

2000 .01