질화물계 TiN, Ti(C,N), CrN 및 TiCrN 박막의 고온 산화

이동복; 김기영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이동복 김기영

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2001년도 추계 학술발표회 초록집

발행연도: 2001.11

수록면: 42 - 42 (1page)

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