CAIP 법으로 증착된 CrN 박막의 N₂ 분압별 특성에 관한 연구

정병호; 김희재

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정병호 김희재

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1996년도 추계 학술발표회 초록집

발행연도: 1996.11

수록면: 83 - 84 (2page)

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