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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
159 - 160 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

유연성 소자 적용을 위한 SiOx 보호막의 특성 평가
정유정 ,  정재혜 ,  윤정흠 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

유연성 소자 적용을 위한 공정 조건에 따른 SiOx 보호막 특성 평가
정유정 ,  윤정흠 ,  이건환 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2007

유연성 소자 적용을 위한 전처리 조건에 따른 SixNy 보호막 특성 평가
정유정 ,  김도근 ,  김종국 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 Si 타겟과 반응성 마그네트론 스퍼터링법을 적용하여 SiO<SUB>x</SUB>N<SUB>y</SUB> 박막을 PET 필름상에 증착하였다. PET 필름상에 밀착력 증진 및 기판 표면 거칠기 제어를 위해 이온빔을 이용한 플라즈마 전처리를 수행하였다. 플라즈마 전처리 조건과 질소 가스 유량비에 따른 SiO<SU ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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