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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
91 - 92 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

CrN / CrAlN 초격자 박막의 미세구조 및 기계적 특성
변태준 ,  김연준 ,  이호영 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료
CrN / TaN 초격자 박막의 미세구조 및 기계적 특성
변태준 ,  김연준 ,  이호영 외 4명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료

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비대칭 마그데트론 스퍼터링을 이용하여 CrN / TaN 초격자 박막을 합성하였으며, 각층(bilayer)의 두께 (?)를 4.3 nm에서 43 nm까지 제어하였다. X선 회절 ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
감사의 글
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