다층막을 이용한 거대자기저항(GMR)의 특성 연구

김병우; 이영석

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김병우 이영석

저널정보: 한국자동차공학회 한국자동차공학회논문집 한국자동차공학회논문집 제16권 제5호

발행연도: 2008.9

수록면: 113 - 118 (6page)

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We have developed an integrated giant magneto resistance using not only circuit but also integrating technique with semiconductor for automobile application. It has four elements used for giant magneto resistance sensor. Ni-Fe/Cu multi layers were prepared on a glass substrate by magnetron sputtering. The dependence of magneto resistance on the thickness of the Ni-Fe and Cu layers was investigated. The MR ratio showed a saturated a peak at Cu layer 10Å, Ni-Fe layer 50Å, where the MR ratio is about 8.7% at room temperature. By means of Ni-Fe multi film and specific integrating technique, these new giant magneto resistance sensor showed excellent resistance characteristics.

#Giant magneto resistance(거대자기저항) #Inductive(자기유도) #Vehicle speed(차량속도) #Anti-lock brake system(미끄럼방지장치) #Active sensor(능동형센서) #Zero speed(영점속도)

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1. [기타자료] - S. Herbert / 1997 / Industrial Application of Magnetoresistive Sensors / Sensor and Actuators A59 : 165 ~ 167

2. [기타자료] - T. Takahashi / 1983 / Two Function magnetic Sensor System / Proc. 3rd Sensor Symposium : 37 ~ 37

3. [기타자료] - S. Kawamata / 1984 / Magnetic Rotary Encorder with High Resolution / Proc. 4th Sensor Symposium : 227 ~ 277

4. [학술지(정기간행물)] - K. M. H. Lensesen / 1999 / Robust Giant Mamagnetoresistnace Material System for Magnetic Sensors / Journal of Applied Physics 85 (8) : 5531 ~ 5533

5. [학술지(정기간행물)] - H. Yuasa / 2005 / Cpp- GMR of Spin Valves with CoxFe1-x Alloy / Journal of Mgnetism and Magnetic Materials 95 (8) : 95 ~ 98

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