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자료유형
학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제25권 제3호
발행연도
1992.7
수록면
133 - 143 (11page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. HCD 플라즈마진단
3. 초기증착
4. 티타늄증착막의 계면 형성
5. 증착속도
6. 성분 분석
7. 색상
8. 미세조직
9. 미소경도
10. 결론
참고문헌

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