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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제41권 제1호
발행연도
2008.2
수록면
38 - 42 (5page)

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316L stainless steel welding tube was electrolytically polished and the inner surface characteristics of the tube were tested. Electro-polishing variables such as current, voltage, concentration of electrolyte and electro-polishing time were changed to seek for optimum condition. These makes a optimum conditions for the electro-polishing as 4000 A, 9V, 1.7 specific gravity of electrolyte, and 30 minute of electro-polishing time. It makes the surface roughness as Ra < 0.25 ㎛. XPS test resulted as the ratio of CrO/FeO equals or more to 3/1. AES test resulted as the thickness of CrO film of 38Å. DTA test resulted as the tube did not react with N₂, H₂, and O₂ gas below 1073K. As summarize above results, the electro- polished 316L stainless steel welding tube satisfied the conditions to apply as a pipeline for semi- conductor production facility and clean room.
#316L stainless steel welding tube #Electro-polishing #XPS #AES #Surface roughness #Pipeline #Semi-conductor production #Clean room

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (9)

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長野昌隆 , 1933 , , 電氣化學 55 : 115 ~ google schola 長野昌隆 , 1935 , , 電氣化學 3 : 6 ~ google schola 笠松 勇 , 1959 , , 印刷情報 3 : 20 ~ google schola 井上英一 , 1955 , , 印刷雜誌 8 : 40 ~ google schola W.J.C.Hilsop , 1934 , , Process Eng. Month 5 google schola

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