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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제39권 제4호
발행연도
2006.8
수록면
153 - 159 (7page)

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Nanodiamond films were deposited on Si substrate by introducing a time dependent on/off modulation of CH₄ and O₂ flows in a vertical-type microwave plasma enhanced chemical vapor deposition system. Surface morphology and diamond quality of the film were investigated as a function of the on/off modulation time interval. The diamond nucleation density on the substrate was enhanced under low temperature and low pressure condition. In addition, the diamond nucleation density was enhanced by increasing the on/off modulation time interval. Enhanced diamond quality was noticeable under the condition of a longer on/off modulation time interval. It was suggested that the nanodiamond nuclei formed the cluster formation.
#Nanodiamond #On/off modulation time #Nona particle #Cluster

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
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