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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.7 No.4
발행연도
2007.12
수록면
254 - 259 (6page)

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In this report, several fabrication techniques for the formation of various nanochannels (with SiO₂, Si, or Quartz) are introduced. Moreover, simple fabrication technique for generating SiO₂ nanochannels without nanolithography is presented. By using different nanochannels, the degree of stretching DNA molecule will be evaluated. Finally, we introduce a nanometer scale fluidic channel with electrodes on the sidewall of it, to detect and analyze single DNA molecule. The cross sectional shape of the nanotrench is V-groove, which was implemented by thermal oxidation. Electrodes were deposited through both sidewalls of nanotrench and the sealing of channel was done by covering thin polydimethiysiloxane (PDMS) polymer sheet.
#Nanochannel #DNA stretching #LOCOS #thermal oxidation

목차

Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. FABRICATION
Ⅲ. DNA EXPERIMENT
Ⅳ. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGMENTS
REFERENCES

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