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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.5
- 수록면
- 238 - 243 (6page)
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Silicon nitride Si3N4 is a leading ceramic for structural applications due to its superior properties at high temperature. It is very difficult-to-grind ceramics with high efficiency because of their high strength, hardness and brittleness. In this paper, ultra-precision surface for Si₃N₄ ceramic were using MR polishing method. MR Polishing experiment were using the magnetorheological fluid and Polishing abrasives are Al₂O₃. Polishing experiments were under various polishing conditions by changing a magnetic field force, wheel speed and polishing time. Polishing surfaces were observed analyzed by non-contact type 3-dimensional surface roughness measurement equipment. As a result, MR Polishing method can give excellent surface roughness, and surface roughness was obtained Ra=1㎚.
목차
Abstract
1. 서론
2. Si₃N₄ 세라믹스 의 특성 분석
3. MR Polishing 연마 시스템 및 미세 연마 실험
4. 실험결과
5. 결론
참고문헌
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