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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
9 - 13 (5page)

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Optical scattering measurement methods are one of the best ways to reveal surface statistics without contacting the object. Conventional measurement systems generally collect scattered light only at designated position with fixed incident condition. However, it is insufficient to analyze to the complex scattering phenomena. The detector at given positions may miss to collect important scattering characteristics that reflect surface information. In order to analyze scattering characteristics from the object that we are interested, the measurement system that can detect spatially scattered lights from the object is needed. Therefore, we developed the prototype of miniaturized 3D-scattering light pattern measurement system. The size of the system is about 296 ㎜ * 234 ㎜ * 374 ㎜. This system can change angle of incidence and measure 3D-scattering light pattern from the object. Experimental results showed that our developed prototype of miniaturized 3D-scattering light pattern measurement system have nanowatt-level sensitivity and can measure wide range of scattered light pattern.
#Scattered light(산란광) #Measurement(측정) #3D pattern(3차원 패턴) #Surface topography(표면성상)

목차

Abstract
1. 서론
2. 소형 3차원 산란광 패턴 검사 시스템 프로토타입
3. 결론
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-014790541