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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.6
발행연도
2008.6
수록면
150 - 158 (9page)

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This research considered that the significance of the NT(Nano Technology) which gradually increased the importance of it and investigated the technology development current situation of the Korea, U.S.A, Japanese, Europe. Therefore, in domestic and foreign, this research was widely used. It includes the tendency of the technology about processing methods using the ion beam and electron beam among the In-line system related technique field for the high efficiency energy beam application nano scale manufacturing components. The technique level of Korea, the international trend of technology and cooperation research present condition are dealt in. The information about the checked out of business of research and development of the country consistency and policy establishment try to be provided.
#Nano Technology(나노 기술) #Ion Beam(이온빔) #Electron Beam(전자빔)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 기술분류 및 특허검색 결과
3. 연도별 전체 특허동향
4. 국가별 특허 동향 및 점유율
5. 세부 기술의 연도별 특허동향
6. 결론
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