플라즈마 이온증착 기술을 이용한 스테인리스강의 질화처리에 관한 연구

박일수; 옥철호; 김재돌

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박일수 옥철호 김재돌

저널정보: 한국마린엔지니어링학회 한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집 한국마린엔지니어링학회 2007년도 전기학술대회논문집

발행연도: 2007.6

수록면: 349 - 353 (5page)

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Plasma immersion ion beam (PUB) nitriding process is an environmentally benign and cost-effective process, and offers the potential of producing high dose of nitrogen ions in a way of simple, fast and economic technique for the high plasma flux treatment of large surface area with nitrogen ion source gas. In this report PUB nitriding technique was used for nitriding on austenite stainless steel of AISI304 with plasma treatment at 250~500℃ for 4 hours, and with the working gas pressure of 2.67 × 10?¹ Pa in vacuum condition. This PUB process might prove the advantage of the low energy high flux of ion bombardment and enhance the tribological or mechanical properties of austenite stainless steel by nitriding. Furthermore, PIIB showed a useful surface modification technique for the nitriding an irregularly shaped three dimensional workpiece of austenite stainless steel and for the improvement of surface properties of AISI 304, such as hardness and strength.

#Plasma(플라즈마) #Plasma immersion ion beam(플라즈마 이온증착) #Nitriding(질화처리)

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