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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.4
발행연도
2008.4
수록면
127 - 133 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

경계요소법에 의한 다결정 직교 이방성 재료의 유효 재료 상수의 계산
김동은 ,  이상훈 ,  정일중 외 1명 대한기계학회 논문집 A권 2008.09 학술저널
경계 요소법에 의한 직교 이방성 다결정 재료의 응력해석에 관한 연구
김동은 ,  이상훈 ,  정일중 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.04 학술저널

2007

경계요소법에 의한 직교이방성 다결정 재료의 응력해석에 관한 연구
김동은 ,  이상훈 ,  정일중 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료

초록· 키워드

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As the application of the MEMS parts increases, the structural safety of MEMS appears importantly. A lot of MEMS parts are made by a multi-grain silicon wafer, which is an orthotropic material. Moreover directions of the materials on each grain are distributed randomly. The stress analysis for the multi-grain is important factor in order to apply the MEMS parts to industrial applications. The finite element method (FEM) is commonly used by a stress analysis method but the boundary element method (BEM) is known as the result of the BEM is more accurate than that of the FEM since the fundamental solution are used. In this study, we derived the boundary integration equation for the orthotropic material by applying fundamental solutions with complex variables. The multi-region analysis procedure for the BEM and the multi-grain generation procedure by a random process technique are developed in order to apply the analysis of the multi-grain orthotropic material. The discontinuous element is used in order to remove the comer problem in the BEM. The results of the present method are compared with those of the finite element method in order to verify the present procedure.
#Multi-Grain(다결정) #Boundary Element Method(경계요소법) #Orthotropic Material(직교 이방성 재료)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 직교 이방성 재료의 응력-변형률 관계
3. 직교 이방성 재질의 경계요소법
4. 다결정 경계요소법
5. 다결정 재료 형상 정보 추출
6. 불연속 경계요소 모델링
7. 수치해석의 적용과 해석결과
8. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
Kovacs, G. T. A. / 1998 / Bulk Micromachining of Silicon / Proceedings of the IEEE :1536~1551 google schola Eisner, R. L. / 1955 / Tensile Tests on Silicon Whiskers / Acta.Metall 3(4):414~415 google schola Greek, S. / 1997 / Tensile Testing of Thin Film Microstructures / Proc.SPIE :344~351 google schola Jones, P. T. / 1996 / Micromechanical Structures for Testing of Brittle Thin Films / Proc.MEMS ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition :325~330 google schola Rasskazove, A. O. / 1978 / Calculation of a Multilayer Orthotropic Shallow Shell by the Method of Finite Elemets / International Applied Mechanics 14(8):826~830 google schola

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