에어로졸성막법에 의해 제작된 Bi:YIG막에 미치는 에어로졸유량의 영향

신광호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 신광호

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제18권 제1호

발행연도: 2008.2

수록면: 14 - 18 (5page)

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본 연구에서는 Bi:YIG(Bi<SUB>0.5</SUB>Y<SUB>2.5</SUB>Fe?O₁₂) 막을 에어로졸 성막법을 이용하여 제작함에있어서, 에어로졸을 구성하는 수송가스의 유량이 막의 자기적 특성과 광학적인 특성에 대하여 분석하였다. 직경 100~500 ㎚의 Bi:YIG 분말을 질소 가스를 수송가스로 사용하여 성막을 실시하였고, 이 때, 수송가스의 유량은 0.5 l/min~10 l/min 사이에서 변화시켰다. 수송가스의 유량이 증가할수록 Bi:YIG막의 보자력은 51 Oe에서 37 Oe까지 지수함수적으로 감소하였다. 이것은 충돌에너지가 증가함에 따라 막내부 혹은 막표면의 결함이 감소하였기 때문이라고 고찰되었다. 포화자화는 유량이 증가할수록 감소하였는데, 이는 충돌에너지가 강해짐에 따라 결정이 왜곡되는 힘을 받았기 때문이라고 고찰되었다.

#Bismuth치환 YIG #에어로졸성막법 #Bismuth-substituted yttrium iron garnet (Bi:YIG) film #aerosol deposition

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1. [학술지(정기간행물)] - 田高士 / 1987 / / 日本用磁誌 11 : 147 ~

2. [학술지(정기간행물)] - O. Kamada / 1987 / / J. Appl. Phys 61 : 3268 ~

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5. [학술지(정기간행물)] - J. W. Niels / 1958 / / J. Phys. Chem. Solid 5 : 202 ~

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