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본 논문에서는 광파장 이하의 주기를 갖는 다결정 실리콘 1차원 격자 기반의 컬러필터를 제안하고 구현하였다. 이 소자는 레이저 간섭 리소그래피 방식을 도입하여 제작되었으며, 기존의 전자빔 리소그래피 방식에 비해 훨씬 큰 유효 면적을 얻을 수 있었다. 특히, 실리콘 격자 층 상부에 산화막을 도입하여 마스크 층으로 활용함으로써 실리콘의 식각 깊이를 용이하게 조절할 수 있었고, 또한 필터의 컷오프 특성을 개선할 수 있었다. 설계된 소자의 파라미터는 실리콘 박막 두께 100㎚, 산화막 두께 200㎚, 격자 주기 450㎚였다. 제작된 청색 컬러필터의 중심파장은 470㎚이고 투과율은 약 40%였다. 그리고 유효 면적 3㎜×3㎜ 내에서 중심파장의 변화는 2㎚ 이하, 상대적인 투과율 변화는 ＜10%였다. 그리고 빔의 입사각에 대한 상대적인 투과율 변화는 약 1.5%/degree였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 제안된 소자의 동작원리 및 설계
Ⅲ. 소자 제작 및 특성 측정
Ⅳ. 결론
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