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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
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This paper presents muscle-inspired serial digital actuators, achieving the improvement of the range-toprecision and range-to-voltage performance. We propose a weight-balanced design for the serial actuators with serpentine springs using serial arrangement of digital actuators. We have measured the displacement range, precision, and drive voltage at unit and serial actuation of 1㎐. The serial digital actuators produce a full range displacement of 28.44±0.02㎛, accumulating the unit displacement of 2.8±0.5㎛ at the operating voltage of 4.47±0.07V. In addition, the serial digital actuators having the displacement precision of 37.94±6.26㎚ do not accumulate the precision of the unit actuators, 36.0±17.7㎚. We experimentally verify that the serial digital actuators achieve the range-to-squared-voltage ratio of 1.423㎛/V² and the range-toprecision ratio of 749.6.
목차
Abstract
1. 서론
2. 이론적 해석 및 설계
3. 제작 공정
4. 측정결과
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Noell, W. / 2002 / Applications of SOI-based Optical MEMS / IEEE Journal on selected topics in quantum electronics 8 (1) : 148 ~ 154
2. [학술대회논문] - Yeh, R. / 2001 / Mask, Large Force, and Large Displacement Electrostatic Linear Inchworm Motors / IEEE MEMS 2001 : 260 ~ 264
3. [학술지(정기간행물)] - Grade, J.D. / 2003 / Design of Large Deflection Electrostatic Actuators / Journal of microelectromechanical systems 12 (3) : 335 ~ 343
4. [인터넷자원] - Sercalo Microtechnology / / Miniature MEMS Variable Optical Attenuator
5. [학술지(정기간행물)] - Isamoto, K. / 2004 / A 5-V Operated MEMS Variable Optical Attenuator by SOI Bulk Micromachining / IEEE Journal on selected topics in quantum electronics 10 (3) : 570 ~ 578
2. [학술대회논문] - Yeh, R. / 2001 / Mask, Large Force, and Large Displacement Electrostatic Linear Inchworm Motors / IEEE MEMS 2001 : 260 ~ 264
3. [학술지(정기간행물)] - Grade, J.D. / 2003 / Design of Large Deflection Electrostatic Actuators / Journal of microelectromechanical systems 12 (3) : 335 ~ 343
4. [인터넷자원] - Sercalo Microtechnology / / Miniature MEMS Variable Optical Attenuator
5. [학술지(정기간행물)] - Isamoto, K. / 2004 / A 5-V Operated MEMS Variable Optical Attenuator by SOI Bulk Micromachining / IEEE Journal on selected topics in quantum electronics 10 (3) : 570 ~ 578
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