자기유변유체를 이용한 Fused silica glass의 미세연마공정특성에 관한 연구

이정원; 김동우; 신영재; 장호수; 조명우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이정원 김동우 신영재 장호수 조명우

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 추계학술대회 논문집

발행연도: 2007.10

수록면: 359 - 364 (6page)

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A new, commercially available polishing process called magnetorheological fluid polishing is used to fabrication optical glass and bio-chip. This polishing process guarantees high polishing quality by controlling the fluid density electrically. The applied material in experiments is fused silica glass. Fused silica glass is widely used in the optical and biochip field because of high degree of purity. For MR polishing experiments, MR fluid was composed with DI-water, carbonyl iron and nano slurry ceria. The wheel speed and electric current were chosen as the variables for analyzing the characteristics of MR polishing process. In results, the surface roughness according to the variation of wheel speed and electric current was analyzed.

#MagnetoRheological Fluid(자기유변유체) #Polishing(연마) #Optical glass(광학유리) #Bio-chip(바이오칩)

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