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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
68 - 68 (1page)

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Tribological behavior of diamond-like carbon(DLC) films was investigated in aqueous environment. DLC films were deposited on Si(100) and polished SUS 316L substrates by r.f.-PACVD using mixture precursor gas of benzene and hydrogen. The fraction of H₂ in the mixed precursorgas was varied ... 전체 초록 보기
#Diamond-like Carbon(다이아몬드상 카본) #Hydrogen dilution(수소 회석) #Wear(마모) #Aqueous environment

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