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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
523 - 528 (6page)

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Recently, practical scope of optical elements broadens considerably such as the optical communication, the optical instrument and electronic products. Also, demands of optical components are growing due to increase of productivity. Object transport systems are driven typically by the magnetic field and the conveyer belt. However, conventional transport systems are not adequate for transportation of optical elements and semiconductors. Because conveyor belts can damage precision optical elements by the contact force and magnetic systems can destroy the inner structure of semiconductor by the magnetic field.
In this paper, the levitation transport system using ultrasonic wave is developed for transporting precision elements without damages. This transport system is using 2-mode ultrasonic wave excitation and modes shapes of flexural beam are evaluated by the theoretical analysis.

목차

Abstract
1. 서론
2. 초음파 물체 이송 시스템
3. 탄성빔 진동의 유한 요소해석
4. 탄성빔의 진동 형태
5. 결론
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