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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
228 - 232 (5page)

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마이크로급 소형 장비에 적합한 소규모를 지향한 고품질 클린 챔버의 설계 및 제작에 관한 기술적 고려사항 및 설계방안에 대해 기술한다. 챔버 내에서 사용할 장비가 외부 및 자체 진동에 대한 영향을 최소화 하도록 설계 제작하였다. 마이크로 팩토리용으로 제작된 챔버에서 정밀 작업을 하기 위해서는 그 정밀도만큼 진동이 없어야한다.
이를 고려한 최적의 설계를 지향하고자 했다.
#Mini Chamber #Clean Room #Clean Chamber #Micro Factory #Vibration reduction

목차

Abstract
1. 서론
2. 클린 챔버 제작
3. 진동측정
4. 결론
참고문헌

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