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한국콘텐츠학회 한국콘텐츠학회 종합학술대회 논문집 한국콘텐츠학회 2007 추계 종합학술대회 논문집 제5권 제2호(하)
발행연도
2007.11
수록면
865 - 868 (4page)

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본 연구는 이온주입(Ion Implanter)장비의 성능향상과 재현성 있는 Source Head를 개발하기 위한 방법이다. Source Head의 Life time이 부품 간 사용되는 Life time과 틀리기 때문에 보통 20일 정도 사용하교 한번 Source Head를 재생하기 위해 교체되는 부품들도 고가일 뿐 만 아니라 50% 이상이 일회성으로 사용되고 있다. 본 개발에서는 원자의 유업방식을 공중 분산방식으로 적용함으로써 열전자의 손실로 발생하는 부분을 억제하는 효과와 Arc Chamber의 압력을 낮게 가지고 갈 수 있고 Chamber의 오염을 억제하는 효과를 얻을 수 있었다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. Source Head
Ⅲ. Source Head ass‘y
Ⅳ. 결론
참고문헌

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