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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.12
발행연도
2007.12
수록면
136 - 142 (7page)

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Precise fabrication of three-dimensional (3D) self-standing microstructures on thin glass plates via two-photon induced polymerization (TPP) has been an important issue for innovative 3D nanodevices and microdevices. However, there are still issues remaining to be solved, such as building 3D microstructures on opaque materials via TPP and being able to implant them as functional parts onto practical systems. To settle these issues simply and effectively, we propose a contact print lithography (CPL) method using an ultraviolet (UV)-curable polymer layer. We report some of the possibilities and potential of CPL by presenting our results for transplanting 3D microstructures onto large-area substrates and also our examination of some of the effects of the process parameters on successful transplantation.
#Two-photon polymerization(이광자 광중합) #Three-dimensional microstructures(3차원 극미세 형상) #Contact print lithography(접촉인쇄리소그래피) #Micro-assembly(마이크로 조립)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 극미세 3차원 형상제작
3. 접촉인쇄 리소그래피 공정
4. 공정변수 및 결과토의
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Sun , 2003. , Scaling Laws of Voxels in Two-photon Photopolymerization Nanofabrication 83 (6) : 1104 ~ 1106 google schola Park , 2004. , Directly Nano-precision Feature Patterning on Thin metal Layer using Top-down Building Approach in nRP Process 21 (6) : 153 ~ 159 google schola Park , 2006. , Effective Fabrication of Three-dimensional Nano, micro-structures in a Single Step 88 (203105) google schola Lim , 2006. , Direct Single-layered Fabrication of 3D Concavo-convex Patterns in Nano-stereolitho-graphy 84 (4) : 379 ~ 383 google schola Park , 2006. , Direct Laser Patterning on Opaque Substrate in Two-photon Polymerization 14 (2) : 245 ~ 250 google schola

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