전해 가공 방법을 이용한 다중 마이크로 전극 제작

권순근; 임형준; 김수현; 곽윤근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 권순근 임형준 김수현 곽윤근

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2004.4

수록면: 1,136 - 1,141 (6page)

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In recent years, demands on microelectrode have been greatly enhanced because of its potential applications and mass production of microelectrodes is needed. An electrochemical fabrication is used as an method for the simple and cheap fabrication of multi microelectrodes. In this paper, one dimensional microelectrode array is used for fabricating of multi electrodes. A diffusion layer which is formed near the electrode surface has an effect on the shape error of multi microelectrodes. The optimal distance between electrodes to minimize shape errors of multi electrodes is investigated. Multi microelectrodes which has several tens of and hundreds of micrometer in diameter are fabricated at a time.

#Fabrication(제작) #Multi microelectrodes(다중 마이크로 전극) #Electrochemical etching(전해 에칭) #Diffusion layer(확산층)

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