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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.11
- 수록면
- 101 - 106 (6page)
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A molecular dynamics study is conducted on ultrashort pulsed laser ablation, which is expected to be a promising tool for micro/nanoscale fabrication in future industry. The simulations have been conducted for silicon atoms described by the Tersoff model with laser fluences 300 ~ 900 J/m² and pulse durations of 100 fs and 5 ps FWHM. The Voronoi polyhedron analysis is used to investigate bulk melting that has been observed in the simulated results. The Voronoi polyhedron analysis is proved to be an effective tool in many respects for analyzing bulk melting. The relationship between superheating and melting time is derived from the distribution of Voronoi polyhedron properties of the results.
목차
Abstract
1. 서론
2. 수치 해법
3. 결과
4. 결론
참고문헌
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