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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.11
발행연도
2007.11
수록면
76 - 83 (8page)

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The dark-field laser scattering system has been developed to inspect surface defects in infrared cut-off filters and then laser scattering characteristics against the defects are investigated. The qualitative analysis for the reliable and accurate detection performance is described through the correlation between incident angles of a laser and viewing ones of a camera. In this paper, reliable and important information with laser scattering is given for the surface defect inspection of IR filters. Its performance has been verified through various experiments.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 암시야 레이저 산란 검사 광학계
3. 실험 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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