Surface chemistry studies of the ALD process of ZrO₂ thin films

Yuri Kim; Chang Min Kim

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Yuri Kim Chang Min Kim

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 157 - 157 (1page)

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