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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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세라믹, 유리 볼의 초정밀 연마특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
EP와 MR Polishing 복합공정을 이용한 의료용합금의 초정밀 연마
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
유리소재의 형상수정 가공을 위한 연마특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
MR Polishing 공정을 이용한 비구면 렌즈 소재의 기초 연마 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
미세채널 구조물 상부의 초정밀 연마 기술 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
폴리싱 정반용 다이아몬드 펠렛의 성능평가
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2009 .11
AE신호를 이용한 자동 연마가공에서의 연마면 상태감시
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2000 .04
자기연마법을 이용한 볼나사의 연마가공에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .11
LCD Glass Polishing Machine의 가공특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
LCD Glass Polishing Machine의 상정반 개발에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2014 .11
머시닝센터 장착형 연마로봇의 성능 향상 및 연마 성능 평가
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1999 .09
CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .03
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
연마 공정 및 표면 계측의 하이브리드 시스템 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Cover glass Edge 형상 정밀도 향상을 위한 MR Polishing 가공 조건 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
3차원 자동 연마장치의 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2002 .04
유리 표면에 대한 자기유변연마유체기반 왕복 연마기술
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
2세대 자기연마를 이용한 미세 그루브형상 표면가공에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .06
실리콘 웨이퍼 폴리싱 공정에서 자연 산화막에 의한 마찰의 변화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
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