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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 97年度 秋季學術大會 論文集(Ⅰ)
발행연도
1997.11
수록면
411 - 414 (4page)

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1998

반도체 수율 향상을 위한 통계적 공정 제어에 전문가 시스템의 적용에 관한 연구
윤건상 ,  최문규 ,  김훈모 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 1998.10 학술저널

1997

통계적 공정 제어에 전문가 시스템의 적용에 관한 연구
윤건상 ,  김훈모 ,  최문규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 1997.11 학술대회자료
반도체 수율 향상을 위한 통계적 공정제어에 전문가시스템의 적용에 관한 연구 ( Applying an Expert System to Statistical Process Control in Semiconductor Manufacturing )
윤건상 ,  최문규 ,  김훈모 대한기계학회 춘추학술대회 1997.01 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 통계적 공정 제어 활동
3. 전문가 시스템의 적용
4. 반도체 공정에의 적용 사례
5. 결론 및 향후 연구과제
참고문헌

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