압전전압 궤환에 의한 압전구동 미소 이송 장치의 위치 정도 개선에 관한 시뮬레이션 해석

남수룡; 김정두

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 남수룡 김정두

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 94年度春季學術大會論文集

발행연도: 1994.5

수록면: 72 - 76 (5page)

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