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논문 기본 정보

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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제8호
발행연도
2004.8
수록면
7 - 13 (7page)

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#Rotational accuracy(회전정밀도) #Precision nano measurement(정밀나노계측) #Error Seperation(오차분리) #Multi-step method(멀티스텝법) #Multi-probe method(멀티프루브법)

목차

1. 서론
2. 오차분리법에 의한 회전정밀도의 정밀 나노계측
3. 멀티스텝법 : 반전법/위상차법
4. 멀티프루브법
5. 결론
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