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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제6호
발행연도
2004.6
수록면
7 - 14 (8page)

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#Nano process(나노 공정) #Nano imprint(나노 임프린트) #Micro tensile test(미소 인장 시험) #Nanoindentation(나노 압입) #Atomic Force Microscope(원자 힘 현미경) #MEMS(미소기전시스템)

목차

1. 서론
2. 마이크로/나노 인장 시험 기술
3. 나노 압입 시험 기술
4. 나노 인덴터를 이용한 응용 측정 기술
5. AFM 을 이용한 물성 측정 기술
6. 결론
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